（1）化学性能稳定。在电气设备允许运行的范围内，六氟化硫气体对断路器的材料没有腐蚀作用。
（2）绝缘性能良好。由于SF6分子具有较强的电负性，很容易吸附自由电子形成负离子，并吸收其能量生成低活动性的的稳定负离子，而导致导电性相当迟缓。这种直径更大的负离子在电场中自由行程很短，难以积累发生碰撞游离的能量。同时，正负离子的质量都比较大，行动迟缓，再结合的几率大为增加。因此，在一个大气压下。六氟化硫的绝缘能力是空气的2倍。当为3个大气压，其绝缘能力几乎和变压器油相同。
（3）灭弧性能很强。在电弧的作用下接受电能而分解成低氟化合物，当电弧过零时，低氟化合物则急速再结合成六氟化硫，所以电弧间隙介质强度恢复过程很快。因此，六氟化硫的灭弧作用时空气的100倍，且灭弧后不变质，从而达到重复使用的效果。
